研究室での開発技術一覧

インテリジェントMEMSデバイス

微小液滴制御用マイクロチャネル素子、カンチレバーセンサー、ナノメニスカス陽極酸化デバイス、電荷ストレージデバイスナノ・マイクロ計測制御技術、マイクロ発電デバイス、マイクロ燃料電池デバイス、うなり振動法による低周波振動検出システム、マイクロバブルメモリ、プラント制御システム、立体太陽電池、超音波デバイス、マイクロカプセル

次世代デバイスプロセス技術

サイドウォール型パターン形成法、高分子集合体マニピュレーション、ナノメニスカス陽極酸化法、多段階異方性エッチング法、局所帯電、超解像技術、位相シフト露光技術、薄膜コーティング技術、薄膜乾燥技術、高機能メッキ技術、マイクロ陽極酸化技術

フォトポリマー材料技術

高分子集合体の凝集制御、レジストパターン内のナノ空間制御、高コントラスト型レジスト材料開発、高分子膜の乾燥メカニズム、アルカリ水溶液の浸透膨潤メカニズム解析、レジストパターンの表面硬化層形成、高分子表面の相互作用引力解析、レジストパターンのヤング率解析法、プラズマ重合法によるHMDSO膜の形成、ラインエッジラフネス(LER)低減技術

ナノスケール計測・制御

表面オゾンUVクリーンシステム、多角形プリズムFT-IR装置、ATR-Auプラズモン解析装置、液体メニスカス解析装置、エキソ電子検出

プローブ顕微鏡技術

微細パターンの直接剥離試験(Direct Peeling by AFM Tip)技術、ポリマー中への溶液浸透解析技術、カンチレバーセンサ、微粒子凝集性解析、吸着水解析、周期パターン摩擦検出法、表面自由エネルギー成分解析、液中ナノバブル・ナノ液滴解析法、SNOM法表面解析装置

表面界面制御技術

表面エネルギーバランスモデル、微小液滴ダイナミクス、表面帯電制御、インピーダンス法による接着層解析、エキソ電子法、薄膜コート法による応力分布解析法、VFパターン解析、QCM法による単分子膜解析、液滴形状制御、粘着テープ剥離